刷丝旋转速度对于清洗效果的影响

目 前TFT-LCD制程的清洗工艺经常采用的清洗方法有超紫外、毛刷滚刷清洗、泡沫喷射清洗以及纯净水喷射冲洗等。其中毛刷对于粒径大于3;μm的 particles的清洗效果很好。毛刷通过紧贴玻璃基板表面高速旋转，可以有效去除粘附或者沉积在金属和非金属膜层的大颗粒particles。

　　本文通过改变毛刷的旋转方向,以particles去除率为依据,探讨了毛刷旋转方向对清洗效果的影响。并分析了毛刷的旋转速度,毛刷的压入量对于清洗效果的综合影响。

　　本文研究了刷丝转速度对于清洗效果的影响, 毛刷采用图1中方法1的旋转方向进行清洗,清洗效果优于其他的旋转方式,particles去除率达到 76.9;particles去除效果良好。在旋转速度为500rpm压入量为0.5mm时进行清洗;总的particles去除率最高达到71,各种粒 径的particles的去除率都较好。